常規供氣系統:
??1、特種氣體采用50L的鋼瓶供氣,并放置于特定的氣瓶柜中。
??2、配置全自動的PLC控制器,彩色觸摸屏。
??3、面板采用壓力傳感器和氣動閥門,自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空。
??4、VMB采用支路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助去排空。
??5、惰性氣體多采用半自動氣瓶架,繼電器控制,自動切換,手動吹掃,手動放空。
??6、VMB主管氣動閥,氮氣吹掃;支路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助排空。
??管道系統的設計
??1、材料的選擇:特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管。
??2、主管路系統設計:確認好氣體房和用氣點后,主管路系統的管道線路設置應線路短、拐彎少,布置美觀節省空間;為了精確控制流量,在氣源端可配置壓力變送器、溫控器、電子秤。
?特種氣體系統實驗室施工管理
??施工管理和現場施工的幾個注意點
??1、氣管道采用小管道輸送,為了降低成本,管道采用直接用彎管器煨彎的方式,彎管器一般采用5-10倍的,但不小于5倍,所以要求施工人員需專業培訓彎管方面的知識。
??2、每日檢查材料質量,需做好檢查記錄,記錄表包括管工彎管的尺寸、質量、是否有變形和劃傷現象。
??3、焊工在施工前應注意先焊接試樣,確保焊接作業是否存在焊接隱患。
??4、電源變更的時候,需重新作試樣。試樣每次要記錄參數,方便下次對比查看。
??5、在焊接作業開始后不間斷充氣的方式,從施工開始到施工結束管道內都要處于沖氣保護的狀態,不進行焊接作業時應當調小管內氣壓。
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